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T/T Payment, Western Union| パラメーター | コマーシャルグレード | 精密級 |
| 基板材料 | n型<111>、抵抗率5〜40オームcm | |
| 直径公差 | + 0 / -0.10mm | |
| 厚さ公差 | ±0.10mm | |
| クリアアパーチャ | >直径の中央90% | |
| 表面品質 | 60〜40秒/日 | 40〜20秒/日 |
| 並列性 | 3〜5分以上 | 1分以上 |
| 表面平坦度 | 25mmあたり1λ | 25mmあたりλ/ 4 |
| 面取り | 0.15〜0.35mm×45° | |
| コーティング | コーティングなし、DLC、AR | |
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